VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
1
90 toa
NORM
REGULAR
8
0
0
0
0
0
8
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
8
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2002
6
35548
0.0603073
0.288006
3916
0.288006
4016
0.287179
3877
0.286357
3755
0.285538
3870
0.284724
3729
0.283913
3651
0.283106
3693
0.282304
3677
0.281505
3699
0.28071
3647
0.279919
3655
0.279132
3682
0.278348
3862
0.277569
4082
0.276793
4223
0.276021
4410
0.275252
4631
0.274487
4834
0.273726
4927
0.272968
4842
0.272214
4612
0.271464
4419
0.270717
4145
0.269973
3952
0.269233
4010
0.268497
3725
0.267764
3631
0.267034
3519
0.266308
3297
0.265585
3206
0.264866
3042
0.26415
3025
0.263437
2980
0.262727
2846
0.262021
2826
0.261318
2795
0.260618
2864
0.259922
2883
0.259228
3001
0.258538
2942
0.257851
2951
0.257167
2902
0.256486
3028
0.255808
2912
0.255134
2881
0.254462
2967
0.253793
2944
0.253128
2971
0.252465
2963
0.251805
3012
0.251149
3083
0.250495
3057
0.249844
2992
0.249196
3035
0.248551
2989
0.247909
3016
0.247269
3074
0.246633
3136
0.245999
3029
0.245368
3111
0.24474
3113
0.244114
3142
0.243492
3104
0.242872
3116
0.242254
2999
0.24164
3169
0.241028
3134
0.240418
3125
0.239812
3044
0.239208
3158
0.238606
3080
0.238007
3073
0.237411
3180
0.236817
3221
0.236226
3098
0.235637
3278
0.235051
3228
0.234467
3173
0.233886
3223
0.233308
3285
0.232731
3338
0.232157
3317
0.231586
3248
0.231017
3428
0.23045
3362
0.229886
3441
0.229324
3383
0.228765
3237
0.228208
3376
0.227653
3398
0.2271
3307
0.22655
3393
0.226002
3483
0.225456
3414
0.224913
3411
0.224372
3400
0.223833
3419
0.223296
3443
0.222761
3456
0.222229
3469
0.221699
3502
0.221171
3434
0.220645
3616
0.220121
3463
0.219599
3450
0.21908
3606
0.218563
3630
0.218047
3540
0.217534
3601
0.217023
3562
0.216514
3688
0.216007
3597
0.215502
3518
0.214999
3629
0.214498
3647
0.213999
3773
0.213502
3597
0.213007
3698
0.212514
3642
0.212022
3690
0.211533
3750
0.211046
3662
0.210561
3696
0.210077
3830
0.209596
3700
0.209116
3775
0.208638
3743
0.208163
3685
0.207688
3809
0.207216
3837
0.206746
3708
0.206277
3794
0.205811
3787
0.205346
3956
0.204883
3906
0.204422
3899
0.203962
4000
0.203504
3965
0.203048
3863
0.202594
3996
0.202141
4073
0.201691
4097
0.201242
4010
0.200794
3939
0.200349
3958
0.199905
3929
0.199462
4135
0.199022
4022
0.198583
4015
0.198146
4089
0.19771
4100
0.197276
4054
0.196844
4180
0.196413
4005
0.195984
4089
0.195556
4167
0.19513
4165
0.194706
4119
0.194283
4268
0.193862
4169
0.193443
4145
0.193024
4197
0.192608
4207
0.192193
4251
0.19178
4301
0.191368
4151
0.190957
4225
0.190548
4440
0.190141
4231
0.189735
4269
0.189331
4201
0.188928
4303
0.188526
4344
0.188126
4411
0.187728
4315
0.18733
4362
0.186935
4393
0.18654
4404
0.186148
4463
0.185756
4396
0.185366
4437
0.184978
4535
0.18459
4462
0.184205
4467
0.18382
4515
0.183437
4515
0.183055
4614
0.182675
4632
0.182296
4592
0.181918
4634
0.181542
4549
0.181167
4560
0.180793
4558
0.180421
4659
0.18005
4719
0.17968
4654
0.179312
4608
0.178945
4600
0.178579
4655
0.178214
4725
0.177851
4745
0.177489
4751
0.177128
4656
0.176769
4849
0.176411
4693
0.176054
4614
0.175698
4794
0.175343
4833
0.17499
4817
0.174638
4847
0.174287
4839
0.173937
4844
0.173589
4971
0.173242
4766
0.172896
4809
0.172551
5037
0.172207
4884
0.171864
4796
0.171523
5003
0.171183
5088
0.170844
5088
0.170506
5046
0.170169
5073
0.169833
5046
0.169499
5129
0.169165
5139
0.168833
5082
0.168502
5247
0.168172
5021
0.167843
5261
0.167515
5139
0.167189
5076
0.166863
5167
0.166538
5282
0.166215
5132
0.165893
5189
0.165571
5336
0.165251
5271
0.164932
5294
0.164614
5269
0.164297
5215
0.163981
5405
0.163666
5235
0.163352
5410
0.163039
5377
0.162727
5508
0.162416
5406
0.162106
5388
0.161797
5379
0.161489
5494
0.161182
5399
0.160877
5366
0.160572
5550
0.160268
5326
0.159965
5538
0.159663
5474
0.159362
5595
0.159062
5617
0.158763
5595
0.158465
5636
0.158168
5510
0.157872
5590
0.157577
5721
0.157283
5684
0.156989
5782
0.156697
5501
0.156406
5772
0.156115
5702
0.155825
5762
0.155537
5730
0.155249
5738
0.154962
5789
0.154676
5797
0.154391
5723
0.154107
5829
0.153824
5627
0.153542
5878
0.15326
5815
0.15298
5751
0.1527
5817
0.152421
5844
0.152143
5813
0.151866
6103
0.15159
5852
0.151315
5898
0.15104
6055
0.150767
6041
0.150494
6161
0.150222
5976
0.149951
6185
0.149681
6089
0.149411
6147
0.149143
6166
0.148875
6249
0.148608
6127
0.148342
6088
0.148077
6281
0.147812
6191
0.147548
6161
0.147285
6077
0.147023
6163
0.146762
6425
0.146502
6190
0.146242
6277
0.145983
6337
0.145725
6203
0.145468
6207
0.145211
6314
0.144955
6462
0.1447
6328
0.144446
6454
0.144193
6564
0.14394
6563
0.143688
6402
0.143437
6386
0.143186
6401
0.142937
6308
0.142688
6638
0.142439
6542
0.142192
6578
0.141945
6567
0.141699
6510
0.141454
6498
0.141209
6493
0.140965
6666
0.140722
6633
0.14048
6649
0.140238
6666
0.139997
6673
0.139757
6661
0.139518
6699
0.139279
6798
0.139041
6790
0.138803
6836
0.138566
6872
0.13833
6927
0.138095
6944
0.13786
6800
0.137626
7067
0.137393
6824
0.13716
6837
0.136928
6824
0.136697
7176
0.136466
6871
0.136236
6991
0.136007
7022
0.135779
7147
0.135551
7232
0.135323
7107
0.135097
7093
0.134871
7165
0.134645
7125
0.13442
7218
0.134196
7163
0.133973
7100
0.13375
7359
0.133528
7250
0.133306
7349
0.133085
7296
0.132865
7408
0.132645
7440
0.132426
7446
0.132208
7446
0.13199
7495
0.131773
7457
0.131556
7584
0.13134
7486
0.131125
7573
0.13091
7568
0.130696
7602
0.130483
7676
0.13027
7763
0.130057
7668
0.129846
7682
0.129634
7755
0.129424
7730
0.129214
7947
0.129004
7825
0.128795
7895
0.128587
7875
0.12838
7951
0.128172
7969
0.127966
8040
0.12776
8038
0.127555
8066
0.12735
8012
0.127145
8055
0.126942
8261
0.126739
8257
0.126536
8178
0.126334
8311
0.126132
8133
0.125931
8225
0.125731
8253
0.125531
8471
0.125332
8318
0.125133
8528
0.124935
8518
0.124737
8446
0.12454
8617
0.124344
8692
0.124147
8544
0.123952
8808
0.123757
8672
0.123562
8770
0.123368
8791
0.123175
8852
0.122982
9013
0.12279
8921
0.122598
9042
0.122406
9027
0.122215
8955
0.122025
9176
0.121835
9068
0.121646
9242
0.121457
9140
0.121269
9154
0.121081
9187
0.120893
9358
0.120707
9366
0.12052
9332
0.120334
9325
0.120149
9365
0.119964
9399
0.11978
9410
0.119596
9552
0.119412
9640
0.119229
9538
0.119047
9513
0.118865
9751
0.118683
9574
0.118502
9615
0.118322
9774
0.118142
9828
0.117962
9826
0.117783
10278
0.117604
10231
0.117426
10540
0.117248
10651
0.117071
10727
0.116894
10808
0.116718
11154
0.116542
11029
0.116366
11199
0.116191
10707
0.116017
10619
0.115843
10324
0.115669
10337
0.115496
10163
0.115323
10276
0.115151
10027
0.114979
9721
0.114807
9493
0.114636
9506
0.114466
9374
0.114295
9128
0.114126
8694
0.113956
8831
0.113788
8582
0.113619
8664
0.113451
8898
0.113284
9504
0.113116
13223
0.11295
25397
0.112783
35548
0.112617
24818
0.112452
13626
0.112287
9929
0.112122
8909
0.111958
8714
0.111794
8613
0.111631
8549
0.111468
8455
0.111305
8561
0.111143
8569
0.110981
8662
0.11082
8702
0.110659
8575
0.110498
8710
0.110338
8642
0.110178
8596
0.110019
8535
0.10986
8678
0.109701
8664
0.109543
8496
0.109385
8591
0.109228
8604
0.109071
8714
0.108914
8797
0.108758
8717
0.108602
8786
0.108447
8861
0.108292
8798
0.108137
8756
0.107982
9077
0.107829
8795
0.107675
9014
0.107522
9047
0.107369
9137
0.107216
9191
0.107064
9015
0.106912
9058
0.106761
8895
0.10661
8939
0.106459
8807
0.106309
8956
0.106159
8932
0.10601
9015
0.105861
8891
0.105712
8992
0.105563
9095
0.105415
9152
0.105267
9287
0.10512
9241
0.104973
9004
0.104826
9287
0.10468
9230
0.104534
9308
0.104388
9313
0.104243
9258
0.104098
9118
0.103953
9313
0.103809
9201
0.103665
9126
0.103522
9217
0.103378
9200
0.103235
9125
0.103093
9332
0.102951
9416
0.102809
9340
0.102667
9429
0.102526
9399
0.102385
9297
0.102245
9262
0.102104
9315
0.101964
9270
0.101825
9318
0.101686
9215
0.101547
9449
0.101408
9301
0.10127
9353
0.101132
9359
0.100994
9448
0.100857
9357
0.10072
9294
0.100583
9227
0.100447
9523
0.100311
9443
0.100175
9354
0.10004
9662
0.0999048
9570
0.09977
9860
0.0996356
9614
0.0995014
9651
0.0993676
9585
0.099234
9570
0.0991008
9485
0.0989679
9273
0.0988353
9399
0.098703
9247
0.098571
9097
0.0984393
9196
0.0983079
9112
0.0981767
8927
0.0980459
8748
0.0979154
8805
0.0977852
8736
0.0976553
8871
0.0975257
9144
0.0973964
9097
0.0972674
9139
0.0971386
9386
0.0970102
9401
0.096882
9943
0.0967542
10099
0.0966266
10392
0.0964993
10597
0.0963723
10424
0.0962456
10101
0.0961192
9687
0.095993
9283
0.0958672
8932
0.0957416
8453
0.0956163
8089
0.0954913
7780
0.0953666
7303
0.0952421
6946
0.095118
6640
0.0949941
6176
0.0948704
5979
0.0947471
5517
0.094624
5330
0.0945012
5187
0.0943787
4983
0.0942564
4983
0.0941345
5127
0.0940128
5899
0.0938913
8682
0.0937701
22213
0.0936492
34722
0.0935286
18938
0.0934082
7992
0.0932881
5723
0.0931683
5044
0.0930487
4814
0.0929294
4713
0.0928103
4696
0.0926915
4673
0.092573
4676
0.0924547
4627
0.0923367
4707
0.092219
4633
0.0921015
4608
0.0919842
4684
0.0918672
4545
0.0917505
4672
0.091634
4539
0.0915178
4610
0.0914018
4823
0.0912861
4650
0.0911707
4765
0.0910554
4723
0.0909405
4697
0.0908257
4621
0.0907113
4730
0.090597
4645
0.0904831
4667
0.0903693
4753
0.0902558
4950
0.0901426
4702
0.0900296
4793
0.0899168
4743
0.0898043
4844
0.089692
4846
0.08958
4620
0.0894682
4919
0.0893567
4782
0.0892453
4758
0.0891343
4838
0.0890234
4920
0.0889128
4936
0.0888024
5066
0.0886923
5041
0.0885824
5056
0.0884727
4980
0.0883633
5079
0.0882541
4923
0.0881451
5100
0.0880364
5199
0.0879279
5201
0.0878196
5261
0.0877115
5060
0.0876037
5219
0.0874961
5132
0.0873887
5130
0.0872815
5241
0.0871746
5204
0.0870679
5330
0.0869614
5305
0.0868552
5423
0.0867492
5381
0.0866434
5338
0.0865378
5493
0.0864324
5576
0.0863272
5514
0.0862223
5570
0.0861176
5554
0.0860131
5631
0.0859088
5627
0.0858048
5582
0.0857009
5792
0.0855973
5640
0.0854939
5605
0.0853907
5828
0.0852877
5708
0.0851849
5864
0.0850824
5809
0.08498
5719
0.0848779
5979
0.0847759
5968
0.0846742
6221
0.0845727
5897
0.0844714
6236
0.0843703
6142
0.0842694
6120
0.0841688
6119
0.0840683
6248
0.083968
6170
0.0838679
6296
0.0837681
6254
0.0836684
6347
0.083569
6406
0.0834697
6398
0.0833707
6366
0.0832718
6174
0.0831732
6211
0.0830747
5940
0.0829765
5971
0.0828784
5800
0.0827806
5721
0.0826829
5553
0.0825855
5592
0.0824882
5368
0.0823912
5100
0.0822943
5251
0.0821976
5202
0.0821012
5244
0.0820049
6213
0.0819088
7010
0.0818129
8418
0.0817172
13518
0.0816217
22850
0.0815264
22519
0.0814312
10325
0.0813363
6181
0.0812415
5239
0.081147
5048
0.0810526
5096
0.0809584
4894
0.0808644
5016
0.0807706
4886
0.080677
4792
0.0805835
4901
0.0804903
4898
0.0803972
4856
0.0803043
5009
0.0802116
4950
0.0801191
5091
0.0800268
5049
0.0799346
4782
0.0798427
4891
0.0797509
4883
0.0796593
4927
0.0795678
4856
0.0794766
4975
0.0793855
4912
0.0792946
4908
0.0792039
4973
0.0791134
5027
0.079023
4993
0.0789329
4998
0.0788429
5025
0.078753
5008
0.0786634
5114
0.0785739
5010
0.0784846
4896
0.0783955
5095
0.0783065
5195
0.0782177
4991
0.0781291
5023
0.0780407
5041
0.0779524
5104
0.0778643
5134
0.0777764
5156
0.0776886
5103
0.0776011
5155
0.0775136
5117
0.0774264
5092
0.0773393
5207
0.0772524
5176
0.0771657
5136
0.0770791
5213
0.0769927
5227
0.0769064
5095
0.0768203
5227
0.0767344
5362
0.0766487
5294
0.0765631
5272
0.0764777
5136
0.0763924
5252
0.0763073
5320
0.0762224
5312
0.0761376
5405
0.076053
5324
0.0759685
5255
0.0758842
5369
0.0758001
5370
0.0757162
5305
0.0756323
5491
0.0755487
5402
0.0754652
5449
0.0753819
5377
0.0752987
5354
0.0752157
5497
0.0751328
5486
0.0750501
5438
0.0749675
5531
0.0748852
5400
0.0748029
5468
0.0747208
5524
0.0746389
5524
0.0745571
5524
0.0744755
5671
0.074394
5658
0.0743127
5794
0.0742315
5877
0.0741505
6159
0.0740697
6093
0.073989
5883
0.0739084
5780
0.073828
5732
0.0737477
5788
0.0736676
5668
0.0735877
5651
0.0735078
5546
0.0734282
5562
0.0733487
5535
0.0732693
5513
0.0731901
5498
0.073111
5576
0.0730321
5475
0.0729533
5613
0.0728746
5827
0.0727961
5822
0.0727178
5785
0.0726396
5749
0.0725615
5950
0.0724836
6030
0.0724059
6512
0.0723282
6372
0.0722507
6708
0.0721734
6596
0.0720962
6493
0.0720191
6524
0.0719422
6080
0.0718654
5994
0.0717888
5903
0.0717123
5581
0.0716359
5477
0.0715597
5221
0.0714836
5027
0.0714077
4626
0.0713319
4428
0.0712562
4346
0.0711807
4110
0.0711053
3964
0.07103
3827
0.0709549
3729
0.0708799
3734
0.0708051
3974
0.0707304
4632
0.0706558
6245
0.0705814
11035
0.0705071
16966
0.0704329
16738
0.0703588
10231
0.0702849
6279
0.0702112
4606
0.0701375
4007
0.070064
3755
0.0699906
3536
0.0699174
3408
0.0698443
3384
0.0697713
3273
0.0696984
3252
0.0696257
3182
0.0695531
3106
0.0694807
3092
0.0694083
3029
0.0693361
3008
0.0692641
3095
0.0691921
2938
0.0691203
3002
0.0690486
2921
0.068977
2977
0.0689056
2868
0.0688343
3173
0.0687631
3158
0.0686921
3391
0.0686211
3528
0.0685503
3652
0.0684796
3775
0.0684091
3804
0.0683386
3821
0.0682683
3569
0.0681982
3306
0.0681281
3082
0.0680582
2977
0.0679883
2681
0.0679187
2505
0.0678491
2261
0.0677796
2164
0.0677103
1919
0.0676411
1727
0.067572
1636
0.0675031
1374
0.0674342
1178
0.0673655
1114
0.0672969
983
0.0672284
917
0.0671601
915
0.0670918
1042
0.0670237
2105
0.0669557
6212
0.0668878
14533
0.06682
16131
0.0667524
6666
0.0666849
2184
0.0666174
1114
0.0665501
886
0.066483
763
0.0664159
743
0.0663489
678
0.0662821
712
0.0662154
703
0.0661488
768
0.0660823
687
0.0660159
701
0.0659496
687
0.0658835
682
0.0658175
668
0.0657515
595
0.0656857
616
0.06562
640
0.0655545
613
0.065489
596
0.0654236
614
0.0653584
635
0.0652932
649
0.0652282
664
0.0651633
638
0.0650985
668
0.0650338
682
0.0649692
605
0.0649048
614
0.0648404
665
0.0647761
646
0.064712
686
0.064648
669
0.064584
666
0.0645202
607
0.0644565
720
0.0643929
713
0.0643294
721
0.064266
639
0.0642027
676
0.0641396
697
0.0640765
692
0.0640135
637
0.0639507
677
0.0638879
696
0.0638253
642
0.0637628
685
0.0637003
672
0.063638
759
0.0635758
738
0.0635136
665
0.0634516
666
0.0633897
757
0.0633279
736
0.0632662
726
0.0632046
787
0.0631431
787
0.0630817
805
0.0630204
791
0.0629592
755
0.0628981
766
0.0628371
762
0.0627762
755
0.0627155
715
0.0626548
701
0.0625942
723
0.0625337
645
0.0624733
691
0.062413
707
0.0623528
706
0.0622928
688
0.0622328
709
0.0621729
778
0.0621131
920
0.0620534
1023
0.0619938
1148
0.0619343
1111
0.0618749
895
0.0618156
739
0.0617564
898
0.0616973
1011
0.0616383
1186
0.0615794
1201
0.0615206
1016
0.0614619
656
0.0614032
463
0.0613447
491
0.0612863
538
0.0612279
759
0.0611697
863
0.0611115
733
0.0610535
700
0.0609955
671
0.0609377
633
0.0608799
556
0.0608222
451
0.0607647
331
0.0607072
203
0.0606498
104
0.0605925
41
0.0605353
26
0.0604781
22
0.0604211
18
0.0603642
6
0.0603073
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
1002
2
1325
0.059744
0.0626548
724
0.0626548
722
0.0626487
756
0.0626426
733
0.0626366
706
0.0626305
722
0.0626245
661
0.0626184
731
0.0626124
725
0.0626063
698
0.0626002
657
0.0625942
670
0.0625881
701
0.0625821
685
0.062576
694
0.06257
718
0.0625639
680
0.0625579
713
0.0625518
698
0.0625458
637
0.0625397
646
0.0625337
659
0.0625277
674
0.0625216
670
0.0625156
721
0.0625095
695
0.0625035
710
0.0624975
687
0.0624914
653
0.0624854
689
0.0624793
654
0.0624733
693
0.0624673
688
0.0624612
688
0.0624552
705
0.0624492
697
0.0624432
658
0.0624371
673
0.0624311
681
0.0624251
665
0.0624191
677
0.062413
705
0.062407
698
0.062401
745
0.062395
718
0.0623889
689
0.0623829
670
0.0623769
677
0.0623709
693
0.0623649
702
0.0623589
724
0.0623528
634
0.0623468
649
0.0623408
660
0.0623348
675
0.0623288
682
0.0623228
692
0.0623168
704
0.0623108
688
0.0623048
658
0.0622988
696
0.0622928
667
0.0622868
684
0.0622807
689
0.0622747
663
0.0622687
721
0.0622627
694
0.0622568
717
0.0622508
682
0.0622448
763
0.0622388
731
0.0622328
676
0.0622268
677
0.0622208
688
0.0622148
694
0.0622088
696
0.0622028
748
0.0621968
702
0.0621908
717
0.0621848
703
0.0621789
697
0.0621729
738
0.0621669
725
0.0621609
729
0.0621549
744
0.062149
726
0.062143
717
0.062137
696
0.062131
754
0.062125
725
0.0621191
776
0.0621131
739
0.0621071
766
0.0621011
795
0.0620952
769
0.0620892
815
0.0620832
849
0.0620773
829
0.0620713
785
0.0620653
869
0.0620594
854
0.0620534
873
0.0620474
873
0.0620415
895
0.0620355
939
0.0620295
947
0.0620236
898
0.0620176
975
0.0620117
1004
0.0620057
929
0.0619998
960
0.0619938
999
0.0619879
1029
0.0619819
1001
0.0619759
1073
0.06197
1069
0.061964
1105
0.0619581
1101
0.0619521
1133
0.0619462
1075
0.0619403
1191
0.0619343
1125
0.0619284
1179
0.0619224
1160
0.0619165
1146
0.0619105
1112
0.0619046
1166
0.0618987
1183
0.0618927
1127
0.0618868
1160
0.0618808
1202
0.0618749
1143
0.061869
1143
0.061863
1070
0.0618571
1064
0.0618512
1041
0.0618453
1157
0.0618393
1078
0.0618334
1041
0.0618275
978
0.0618215
883
0.0618156
969
0.0618097
912
0.0618038
917
0.0617978
858
0.0617919
844
0.061786
840
0.0617801
806
0.0617742
822
0.0617682
797
0.0617623
827
0.0617564
795
0.0617505
783
0.0617446
831
0.0617387
843
0.0617328
777
0.0617268
804
0.0617209
747
0.061715
796
0.0617091
782
0.0617032
855
0.0616973
809
0.0616914
819
0.0616855
852
0.0616796
858
0.0616737
846
0.0616678
864
0.0616619
901
0.061656
896
0.0616501
947
0.0616442
948
0.0616383
930
0.0616324
1026
0.0616265
1005
0.0616206
1025
0.0616147
1077
0.0616088
1064
0.0616029
1110
0.061597
1072
0.0615912
1158
0.0615853
1198
0.0615794
1160
0.0615735
1208
0.0615676
1184
0.0615617
1219
0.0615558
1240
0.06155
1234
0.0615441
1325
0.0615382
1310
0.0615323
1271
0.0615264
1268
0.0615206
1281
0.0615147
1319
0.0615088
1255
0.0615029
1176
0.0614971
1227
0.0614912
1225
0.0614853
1195
0.0614795
1200
0.0614736
1146
0.0614677
1096
0.0614619
1101
0.061456
1085
0.0614501
1008
0.0614443
1029
0.0614384
967
0.0614325
950
0.0614267
905
0.0614208
841
0.0614149
797
0.0614091
790
0.0614032
785
0.0613974
745
0.0613915
681
0.0613857
636
0.0613798
604
0.061374
607
0.0613681
558
0.0613622
604
0.0613564
535
0.0613506
586
0.0613447
566
0.0613389
526
0.061333
498
0.0613272
525
0.0613213
464
0.0613155
470
0.0613096
466
0.0613038
490
0.0612979
501
0.0612921
490
0.0612863
497
0.0612804
500
0.0612746
525
0.0612688
505
0.0612629
527
0.0612571
527
0.0612513
489
0.0612454
472
0.0612396
531
0.0612338
519
0.0612279
573
0.0612221
572
0.0612163
564
0.0612105
589
0.0612046
619
0.0611988
604
0.061193
585
0.0611872
635
0.0611813
622
0.0611755
653
0.0611697
716
0.0611639
714
0.0611581
709
0.0611522
756
0.0611464
740
0.0611406
775
0.0611348
842
0.061129
815
0.0611232
852
0.0611174
833
0.0611115
833
0.0611057
806
0.0610999
812
0.0610941
874
0.0610883
847
0.0610825
825
0.0610767
805
0.0610709
888
0.0610651
792
0.0610593
815
0.0610535
797
0.0610477
799
0.0610419
731
0.0610361
753
0.0610303
748
0.0610245
703
0.0610187
747
0.0610129
726
0.0610071
688
0.0610013
662
0.0609955
707
0.0609897
656
0.060984
699
0.0609782
671
0.0609724
643
0.0609666
619
0.0609608
586
0.060955
605
0.0609492
640
0.0609435
637
0.0609377
696
0.0609319
667
0.0609261
684
0.0609203
656
0.0609146
643
0.0609088
698
0.060903
623
0.0608972
645
0.0608915
660
0.0608857
604
0.0608799
626
0.0608741
647
0.0608684
618
0.0608626
616
0.0608568
631
0.0608511
599
0.0608453
632
0.0608395
595
0.0608338
628
0.060828
608
0.0608222
586
0.0608165
567
0.0608107
511
0.0608049
549
0.0607992
564
0.0607934
522
0.0607877
515
0.0607819
497
0.0607762
504
0.0607704
482
0.0607647
488
0.0607589
455
0.0607531
455
0.0607474
448
0.0607416
412
0.0607359
375
0.0607301
388
0.0607244
379
0.0607187
372
0.0607129
357
0.0607072
357
0.0607014
372
0.0606957
295
0.0606899
323
0.0606842
289
0.0606785
313
0.0606727
284
0.060667
269
0.0606612
272
0.0606555
253
0.0606498
237
0.060644
233
0.0606383
231
0.0606326
191
0.0606268
184
0.0606211
195
0.0606154
167
0.0606096
163
0.0606039
158
0.0605982
145
0.0605925
134
0.0605867
124
0.060581
125
0.0605753
110
0.0605696
103
0.0605639
75
0.0605581
81
0.0605524
93
0.0605467
55
0.060541
71
0.0605353
67
0.0605295
60
0.0605238
47
0.0605181
48
0.0605124
58
0.0605067
30
0.060501
29
0.0604953
30
0.0604896
28
0.0604838
36
0.0604781
26
0.0604724
24
0.0604667
24
0.060461
22
0.0604553
25
0.0604496
17
0.0604439
28
0.0604382
20
0.0604325
17
0.0604268
13
0.0604211
15
0.0604154
25
0.0604097
14
0.060404
16
0.0603983
16
0.0603926
19
0.0603869
23
0.0603813
9
0.0603756
13
0.0603699
16
0.0603642
17
0.0603585
14
0.0603528
15
0.0603471
10
0.0603414
12
0.0603358
20
0.0603301
8
0.0603244
11
0.0603187
15
0.060313
10
0.0603073
15
0.0603017
21
0.060296
17
0.0602903
7
0.0602846
10
0.060279
10
0.0602733
9
0.0602676
13
0.0602619
9
0.0602563
7
0.0602506
15
0.0602449
11
0.0602393
13
0.0602336
7
0.0602279
11
0.0602223
11
0.0602166
4
0.0602109
8
0.0602053
12
0.0601996
7
0.0601939
7
0.0601883
8
0.0601826
12
0.060177
8
0.0601713
9
0.0601656
10
0.06016
9
0.0601543
7
0.0601487
8
0.060143
4
0.0601374
5
0.0601317
7
0.0601261
8
0.0601204
7
0.0601148
11
0.0601091
8
0.0601035
10
0.0600978
10
0.0600922
13
0.0600865
16
0.0600809
11
0.0600753
12
0.0600696
6
0.060064
10
0.0600583
3
0.0600527
8
0.0600471
4
0.0600414
7
0.0600358
6
0.0600302
11
0.0600245
5
0.0600189
12
0.0600133
10
0.0600076
7
0.060002
9
0.0599964
10
0.0599907
12
0.0599851
11
0.0599795
10
0.0599738
9
0.0599682
4
0.0599626
6
0.059957
2
0.0599514
4
0.0599457
10
0.0599401
5
0.0599345
3
0.0599289
5
0.0599233
12
0.0599176
8
0.059912
6
0.0599064
6
0.0599008
6
0.0598952
2
0.0598896
5
0.059884
4
0.0598783
4
0.0598727
9
0.0598671
7
0.0598615
10
0.0598559
7
0.0598503
6
0.0598447
13
0.0598391
3
0.0598335
3
0.0598279
4
0.0598223
6
0.0598167
9
0.0598111
6
0.0598055
3
0.0597999
7
0.0597943
12
0.0597887
3
0.0597831
3
0.0597775
6
0.0597719
6
0.0597663
9
0.0597607
7
0.0597551
6
0.0597495
6
0.059744
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
298
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
827
6124
0.126345
0.128793
998
0.128793
1007
0.128787
997
0.128781
968
0.128775
962
0.128768
1047
0.128762
1006
0.128756
994
0.12875
998
0.128744
981
0.128737
1004
0.128731
985
0.128725
1001
0.128719
1013
0.128712
930
0.128706
1005
0.1287
1001
0.128694
988
0.128688
997
0.128681
992
0.128675
1011
0.128669
939
0.128663
950
0.128656
966
0.12865
983
0.128644
922
0.128638
1056
0.128632
958
0.128625
984
0.128619
1016
0.128613
935
0.128607
1000
0.1286
1030
0.128594
992
0.128588
1012
0.128582
1026
0.128576
1018
0.128569
1006
0.128563
990
0.128557
932
0.128551
941
0.128545
996
0.128538
949
0.128532
978
0.128526
988
0.12852
998
0.128514
1004
0.128507
957
0.128501
1020
0.128495
966
0.128489
943
0.128483
1000
0.128476
1016
0.12847
1021
0.128464
1000
0.128458
927
0.128452
1019
0.128445
940
0.128439
985
0.128433
983
0.128427
1009
0.128421
984
0.128414
1004
0.128408
944
0.128402
979
0.128396
958
0.12839
982
0.128383
935
0.128377
947
0.128371
989
0.128365
932
0.128359
922
0.128352
949
0.128346
972
0.12834
896
0.128334
917
0.128328
956
0.128321
949
0.128315
937
0.128309
960
0.128303
997
0.128297
1001
0.128291
950
0.128284
915
0.128278
934
0.128272
931
0.128266
926
0.12826
980
0.128253
942
0.128247
933
0.128241
967
0.128235
889
0.128229
927
0.128223
975
0.128216
895
0.12821
898
0.128204
901
0.128198
929
0.128192
958
0.128185
925
0.128179
919
0.128173
935
0.128167
947
0.128161
931
0.128155
1008
0.128148
904
0.128142
951
0.128136
872
0.12813
947
0.128124
932
0.128118
944
0.128111
976
0.128105
964
0.128099
956
0.128093
1014
0.128087
992
0.128081
1022
0.128074
1051
0.128068
1120
0.128062
1090
0.128056
1068
0.12805
1063
0.128044
1105
0.128037
1113
0.128031
1060
0.128025
1145
0.128019
1183
0.128013
1210
0.128007
1115
0.128
1192
0.127994
1181
0.127988
1244
0.127982
1240
0.127976
1279
0.12797
1228
0.127963
1232
0.127957
1329
0.127951
1234
0.127945
1269
0.127939
1256
0.127933
1300
0.127927
1284
0.12792
1267
0.127914
1321
0.127908
1210
0.127902
1291
0.127896
1281
0.12789
1322
0.127884
1230
0.127877
1215
0.127871
1268
0.127865
1226
0.127859
1303
0.127853
1240
0.127847
1230
0.12784
1270
0.127834
1299
0.127828
1216
0.127822
1225
0.127816
1267
0.12781
1201
0.127804
1310
0.127797
1299
0.127791
1283
0.127785
1359
0.127779
1359
0.127773
1434
0.127767
1413
0.127761
1532
0.127755
1478
0.127748
1547
0.127742
1624
0.127736
1613
0.12773
1677
0.127724
1776
0.127718
1734
0.127712
1889
0.127705
1854
0.127699
1952
0.127693
2067
0.127687
2062
0.127681
2158
0.127675
2278
0.127669
2280
0.127663
2352
0.127656
2373
0.12765
2389
0.127644
2425
0.127638
2392
0.127632
2567
0.127626
2628
0.12762
2610
0.127614
2604
0.127607
2724
0.127601
2824
0.127595
2994
0.127589
3041
0.127583
3203
0.127577
3235
0.127571
3282
0.127565
3392
0.127558
3808
0.127552
3949
0.127546
3996
0.12754
4352
0.127534
4333
0.127528
4676
0.127522
4940
0.127516
5085
0.127509
5241
0.127503
5472
0.127497
5610
0.127491
5665
0.127485
5875
0.127479
6001
0.127473
5925
0.127467
6045
0.127461
6124
0.127454
6101
0.127448
5963
0.127442
5997
0.127436
5705
0.12743
5625
0.127424
5350
0.127418
5068
0.127412
4891
0.127406
4700
0.127399
4455
0.127393
4157
0.127387
4018
0.127381
3672
0.127375
3558
0.127369
3315
0.127363
3138
0.127357
2904
0.127351
2685
0.127345
2589
0.127338
2485
0.127332
2236
0.127326
2121
0.12732
2090
0.127314
1901
0.127308
1761
0.127302
1672
0.127296
1628
0.12729
1574
0.127284
1586
0.127277
1510
0.127271
1333
0.127265
1374
0.127259
1376
0.127253
1294
0.127247
1307
0.127241
1179
0.127235
1248
0.127229
1202
0.127223
1168
0.127217
1169
0.12721
1066
0.127204
1094
0.127198
1132
0.127192
1062
0.127186
1066
0.12718
1133
0.127174
1039
0.127168
1047
0.127162
1047
0.127156
1012
0.12715
993
0.127144
980
0.127137
989
0.127131
942
0.127125
916
0.127119
984
0.127113
918
0.127107
979
0.127101
939
0.127095
992
0.127089
932
0.127083
944
0.127077
965
0.127071
962
0.127065
920
0.127058
905
0.127052
1013
0.127046
931
0.12704
926
0.127034
890
0.127028
894
0.127022
858
0.127016
876
0.12701
965
0.127004
963
0.126998
916
0.126992
911
0.126986
940
0.12698
864
0.126973
865
0.126967
895
0.126961
930
0.126955
885
0.126949
881
0.126943
955
0.126937
926
0.126931
866
0.126925
920
0.126919
941
0.126913
942
0.126907
916
0.126901
913
0.126895
962
0.126889
946
0.126883
883
0.126876
880
0.12687
859
0.126864
861
0.126858
872
0.126852
866
0.126846
898
0.12684
911
0.126834
940
0.126828
860
0.126822
976
0.126816
899
0.12681
910
0.126804
918
0.126798
907
0.126792
850
0.126786
937
0.12678
879
0.126774
899
0.126768
909
0.126761
855
0.126755
885
0.126749
944
0.126743
854
0.126737
920
0.126731
892
0.126725
884
0.126719
853
0.126713
932
0.126707
893
0.126701
916
0.126695
864
0.126689
865
0.126683
916
0.126677
873
0.126671
880
0.126665
905
0.126659
925
0.126653
908
0.126647
889
0.126641
905
0.126635
900
0.126629
867
0.126622
946
0.126616
895
0.12661
881
0.126604
918
0.126598
913
0.126592
901
0.126586
865
0.12658
866
0.126574
908
0.126568
911
0.126562
878
0.126556
881
0.12655
883
0.126544
850
0.126538
827
0.126532
895
0.126526
859
0.12652
916
0.126514
930
0.126508
902
0.126502
870
0.126496
833
0.12649
848
0.126484
868
0.126478
878
0.126472
868
0.126466
900
0.12646
919
0.126454
873
0.126448
929
0.126442
837
0.126436
874
0.12643
910
0.126424
872
0.126418
876
0.126412
917
0.126406
908
0.1264
867
0.126394
828
0.126388
945
0.126381
921
0.126375
916
0.126369
924
0.126363
929
0.126357
888
0.126351
902
0.126345
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
544
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
7246
0.164143
0.168154
171
0.168154
206
0.168144
164
0.168134
154
0.168124
130
0.168113
142
0.168103
174
0.168093
229
0.168083
193
0.168072
176
0.168062
126
0.168052
153
0.168042
176
0.168031
206
0.168021
191
0.168011
264
0.168001
147
0.16799
161
0.16798
164
0.16797
102
0.16796
124
0.167949
104
0.167939
196
0.167929
199
0.167919
139
0.167908
178
0.167898
130
0.167888
60
0.167878
147
0.167868
151
0.167857
111
0.167847
259
0.167837
112
0.167827
59
0.167816
104
0.167806
124
0.167796
155
0.167786
113
0.167776
101
0.167765
78
0.167755
107
0.167745
122
0.167735
132
0.167724
146
0.167714
140
0.167704
51
0.167694
136
0.167684
98
0.167673
180
0.167663
129
0.167653
69
0.167643
115
0.167633
79
0.167622
77
0.167612
57
0.167602
72
0.167592
76
0.167582
69
0.167571
114
0.167561
165
0.167551
76
0.167541
135
0.167531
156
0.167521
188
0.16751
93
0.1675
120
0.16749
117
0.16748
69
0.16747
99
0.167459
155
0.167449
100
0.167439
154
0.167429
80
0.167419
87
0.167409
109
0.167398
18
0.167388
65
0.167378
203
0.167368
83
0.167358
184
0.167348
76
0.167337
172
0.167327
64
0.167317
116
0.167307
92
0.167297
81
0.167287
71
0.167276
113
0.167266
130
0.167256
76
0.167246
98
0.167236
109
0.167226
159
0.167216
171
0.167205
125
0.167195
134
0.167185
44
0.167175
133
0.167165
122
0.167155
133
0.167144
151
0.167134
112
0.167124
73
0.167114
131
0.167104
178
0.167094
119
0.167084
183
0.167074
130
0.167063
90
0.167053
150
0.167043
197
0.167033
121
0.167023
157
0.167013
205
0.167003
133
0.166992
139
0.166982
157
0.166972
179
0.166962
118
0.166952
208
0.166942
120
0.166932
150
0.166922
187
0.166911
165
0.166901
160
0.166891
268
0.166881
290
0.166871
195
0.166861
219
0.166851
230
0.166841
207
0.166831
288
0.16682
237
0.16681
215
0.1668
283
0.16679
358
0.16678
291
0.16677
354
0.16676
343
0.16675
418
0.16674
368
0.16673
563
0.166719
505
0.166709
479
0.166699
576
0.166689
738
0.166679
683
0.166669
813
0.166659
830
0.166649
1014
0.166639
1053
0.166629
1097
0.166619
1255
0.166609
1251
0.166598
1346
0.166588
1472
0.166578
1661
0.166568
1896
0.166558
1885
0.166548
2172
0.166538
2315
0.166528
2329
0.166518
2602
0.166508
2897
0.166498
3097
0.166488
3297
0.166478
3468
0.166467
3776
0.166457
3950
0.166447
4314
0.166437
4648
0.166427
4778
0.166417
4953
0.166407
5208
0.166397
5518
0.166387
5844
0.166377
6042
0.166367
6286
0.166357
6600
0.166347
6616
0.166337
6792
0.166327
6840
0.166317
6938
0.166307
7071
0.166297
7232
0.166286
7246
0.166276
7070
0.166266
7054
0.166256
7052
0.166246
6917
0.166236
6768
0.166226
6566
0.166216
6615
0.166206
6353
0.166196
6044
0.166186
5832
0.166176
5568
0.166166
5545
0.166156
5098
0.166146
4819
0.166136
4817
0.166126
4287
0.166116
4162
0.166106
3948
0.166096
3756
0.166086
3447
0.166076
3224
0.166066
3037
0.166056
2824
0.166046
2662
0.166036
2561
0.166026
2366
0.166016
2195
0.166006
1962
0.165996
1931
0.165986
1751
0.165976
1626
0.165966
1461
0.165956
1577
0.165946
1365
0.165936
1202
0.165926
1136
0.165916
1148
0.165906
1019
0.165896
885
0.165886
935
0.165876
825
0.165866
813
0.165856
784
0.165846
644
0.165836
588
0.165826
625
0.165816
640
0.165806
482
0.165796
438
0.165786
460
0.165776
433
0.165766
388
0.165756
353
0.165746
374
0.165736
383
0.165726
292
0.165716
315
0.165706
316
0.165696
226
0.165686
238
0.165676
230
0.165666
237
0.165656
237
0.165646
126
0.165636
230
0.165626
218
0.165616
178
0.165606
213
0.165596
130
0.165586
156
0.165576
172
0.165566
246
0.165556
152
0.165546
112
0.165536
219
0.165526
97
0.165516
112
0.165506
260
0.165496
136
0.165486
165
0.165476
118
0.165467
143
0.165457
146
0.165447
142
0.165437
211
0.165427
155
0.165417
183
0.165407
132
0.165397
104
0.165387
138
0.165377
97
0.165367
169
0.165357
98
0.165347
112
0.165337
106
0.165327
85
0.165317
147
0.165307
67
0.165297
135
0.165288
231
0.165278
105
0.165268
132
0.165258
13
0.165248
30
0.165238
14
0.165228
148
0.165218
0
0.165208
86
0.165198
99
0.165188
73
0.165178
72
0.165168
149
0.165159
138
0.165149
147
0.165139
47
0.165129
45
0.165119
121
0.165109
61
0.165099
88
0.165089
115
0.165079
132
0.165069
110
0.165059
57
0.165049
131
0.16504
58
0.16503
51
0.16502
89
0.16501
58
0.165
157
0.16499
97
0.16498
120
0.16497
133
0.16496
48
0.16495
107
0.164941
57
0.164931
107
0.164921
146
0.164911
85
0.164901
110
0.164891
50
0.164881
120
0.164871
154
0.164861
97
0.164852
114
0.164842
18
0.164832
49
0.164822
22
0.164812
107
0.164802
38
0.164792
118
0.164782
64
0.164773
71
0.164763
49
0.164753
20
0.164743
24
0.164733
68
0.164723
126
0.164713
87
0.164703
39
0.164694
80
0.164684
85
0.164674
84
0.164664
142
0.164654
190
0.164644
39
0.164634
101
0.164625
74
0.164615
100
0.164605
180
0.164595
78
0.164585
86
0.164575
44
0.164565
93
0.164556
55
0.164546
52
0.164536
13
0.164526
66
0.164516
133
0.164506
102
0.164496
140
0.164487
62
0.164477
119
0.164467
68
0.164457
77
0.164447
19
0.164437
192
0.164428
30
0.164418
64
0.164408
140
0.164398
83
0.164388
37
0.164378
90
0.164369
78
0.164359
91
0.164349
118
0.164339
98
0.164329
135
0.164319
125
0.16431
73
0.1643
93
0.16429
33
0.16428
104
0.16427
88
0.164261
53
0.164251
58
0.164241
97
0.164231
122
0.164221
25
0.164211
100
0.164202
80
0.164192
96
0.164182
74
0.164172
117
0.164162
53
0.164153
85
0.164143
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
112
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
83
4118
0.107169
0.108964
195
0.108964
178
0.108959
219
0.108955
190
0.10895
171
0.108945
161
0.108941
201
0.108936
193
0.108932
196
0.108927
199
0.108923
188
0.108918
172
0.108914
188
0.108909
162
0.108904
157
0.1089
179
0.108895
181
0.108891
165
0.108886
136
0.108882
174
0.108877
172
0.108873
154
0.108868
156
0.108863
179
0.108859
172
0.108854
162
0.10885
162
0.108845
150
0.108841
150
0.108836
168
0.108832
152
0.108827
170
0.108823
145
0.108818
148
0.108813
167
0.108809
165
0.108804
160
0.1088
177
0.108795
154
0.108791
156
0.108786
168
0.108782
153
0.108777
184
0.108773
130
0.108768
130
0.108763
151
0.108759
133
0.108754
135
0.10875
158
0.108745
166
0.108741
150
0.108736
132
0.108732
145
0.108727
140
0.108723
144
0.108718
146
0.108714
153
0.108709
136
0.108704
159
0.1087
142
0.108695
129
0.108691
135
0.108686
162
0.108682
151
0.108677
129
0.108673
147
0.108668
135
0.108664
112
0.108659
126
0.108655
140
0.10865
138
0.108645
142
0.108641
157
0.108636
137
0.108632
157
0.108627
139
0.108623
141
0.108618
152
0.108614
159
0.108609
146
0.108605
132
0.1086
155
0.108596
146
0.108591
144
0.108587
157
0.108582
148
0.108578
155
0.108573
160
0.108568
168
0.108564
170
0.108559
163
0.108555
128
0.10855
175
0.108546
174
0.108541
156
0.108537
161
0.108532
186
0.108528
184
0.108523
179
0.108519
211
0.108514
198
0.10851
236
0.108505
236
0.108501
244
0.108496
261
0.108492
285
0.108487
261
0.108483
266
0.108478
329
0.108473
313
0.108469
325
0.108464
365
0.10846
392
0.108455
417
0.108451
476
0.108446
528
0.108442
519
0.108437
550
0.108433
567
0.108428
646
0.108424
673
0.108419
711
0.108415
748
0.10841
822
0.108406
846
0.108401
948
0.108397
1001
0.108392
1041
0.108388
1041
0.108383
1167
0.108379
1244
0.108374
1292
0.10837
1424
0.108365
1464
0.108361
1553
0.108356
1697
0.108352
1776
0.108347
1862
0.108343
1984
0.108338
2113
0.108334
2263
0.108329
2328
0.108325
2512
0.10832
2649
0.108315
2781
0.108311
2898
0.108306
3015
0.108302
3008
0.108297
3208
0.108293
3326
0.108288
3496
0.108284
3532
0.108279
3569
0.108275
3787
0.10827
3868
0.108266
3923
0.108261
4001
0.108257
4118
0.108252
4049
0.108248
4087
0.108243
3921
0.108239
3961
0.108234
4023
0.10823
3864
0.108225
3686
0.108221
3739
0.108216
3525
0.108212
3372
0.108207
3397
0.108203
3075
0.108198
3020
0.108194
2850
0.108189
2636
0.108185
2524
0.10818
2348
0.108176
2155
0.108171
2054
0.108167
1925
0.108162
1720
0.108158
1736
0.108153
1509
0.108149
1383
0.108144
1248
0.10814
1124
0.108135
1078
0.108131
1007
0.108126
903
0.108122
772
0.108118
762
0.108113
681
0.108109
613
0.108104
609
0.1081
560
0.108095
507
0.108091
459
0.108086
456
0.108082
422
0.108077
388
0.108073
360
0.108068
353
0.108064
351
0.108059
308
0.108055
312
0.10805
314
0.108046
280
0.108041
244
0.108037
257
0.108032
261
0.108028
245
0.108023
224
0.108019
210
0.108014
217
0.10801
212
0.108005
201
0.108001
187
0.107996
202
0.107992
191
0.107987
157
0.107983
187
0.107978
185
0.107974
194
0.107969
151
0.107965
156
0.107961
152
0.107956
161
0.107952
174
0.107947
154
0.107943
144
0.107938
160
0.107934
174
0.107929
149
0.107925
160
0.10792
135
0.107916
133
0.107911
142
0.107907
157
0.107902
163
0.107898
167
0.107893
118
0.107889
130
0.107884
138
0.10788
137
0.107875
116
0.107871
133
0.107867
120
0.107862
126
0.107858
114
0.107853
137
0.107849
124
0.107844
98
0.10784
117
0.107835
114
0.107831
128
0.107826
112
0.107822
127
0.107817
97
0.107813
134
0.107808
124
0.107804
126
0.107799
124
0.107795
113
0.107791
132
0.107786
128
0.107782
125
0.107777
118
0.107773
126
0.107768
135
0.107764
111
0.107759
115
0.107755
120
0.10775
119
0.107746
112
0.107741
101
0.107737
109
0.107732
129
0.107728
120
0.107724
96
0.107719
133
0.107715
122
0.10771
117
0.107706
120
0.107701
115
0.107697
113
0.107692
102
0.107688
115
0.107683
123
0.107679
121
0.107675
118
0.10767
125
0.107666
114
0.107661
112
0.107657
128
0.107652
110
0.107648
83
0.107643
107
0.107639
127
0.107634
117
0.10763
115
0.107625
112
0.107621
115
0.107617
95
0.107612
122
0.107608
106
0.107603
115
0.107599
132
0.107594
120
0.10759
124
0.107585
99
0.107581
117
0.107577
120
0.107572
112
0.107568
117
0.107563
122
0.107559
121
0.107554
91
0.10755
126
0.107545
105
0.107541
124
0.107536
108
0.107532
127
0.107528
119
0.107523
115
0.107519
117
0.107514
108
0.10751
124
0.107505
115
0.107501
139
0.107496
116
0.107492
107
0.107488
101
0.107483
124
0.107479
120
0.107474
124
0.10747
99
0.107465
101
0.107461
100
0.107456
113
0.107452
117
0.107448
108
0.107443
95
0.107439
106
0.107434
101
0.10743
120
0.107425
96
0.107421
114
0.107417
126
0.107412
99
0.107408
104
0.107403
122
0.107399
128
0.107394
93
0.10739
98
0.107385
118
0.107381
128
0.107377
119
0.107372
129
0.107368
114
0.107363
113
0.107359
120
0.107354
112
0.10735
144
0.107346
129
0.107341
122
0.107337
114
0.107332
128
0.107328
126
0.107323
95
0.107319
118
0.107315
108
0.10731
125
0.107306
94
0.107301
103
0.107297
101
0.107292
133
0.107288
99
0.107284
125
0.107279
126
0.107275
99
0.10727
142
0.107266
102
0.107261
129
0.107257
121
0.107253
123
0.107248
112
0.107244
121
0.107239
115
0.107235
111
0.10723
96
0.107226
136
0.107222
98
0.107217
105
0.107213
112
0.107208
119
0.107204
135
0.107199
132
0.107195
129
0.107191
107
0.107186
104
0.107182
123
0.107177
104
0.107173
123
0.107169
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.62
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
112
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
10
659
0.14341
0.145497
28
0.145497
40
0.145492
32
0.145486
30
0.145481
26
0.145476
29
0.14547
22
0.145465
33
0.14546
29
0.145455
29
0.145449
37
0.145444
30
0.145439
22
0.145433
43
0.145428
22
0.145423
24
0.145418
26
0.145412
32
0.145407
34
0.145402
24
0.145396
21
0.145391
22
0.145386
27
0.145381
25
0.145375
34
0.14537
22
0.145365
30
0.145359
36
0.145354
28
0.145349
32
0.145344
23
0.145338
21
0.145333
13
0.145328
24
0.145322
25
0.145317
39
0.145312
28
0.145307
22
0.145301
29
0.145296
24
0.145291
21
0.145285
24
0.14528
19
0.145275
24
0.14527
22
0.145264
19
0.145259
24
0.145254
18
0.145249
21
0.145243
15
0.145238
21
0.145233
24
0.145227
29
0.145222
16
0.145217
19
0.145212
23
0.145206
14
0.145201
17
0.145196
16
0.145191
26
0.145185
20
0.14518
18
0.145175
19
0.145169
26
0.145164
23
0.145159
23
0.145154
21
0.145148
21
0.145143
25
0.145138
19
0.145133
11
0.145127
13
0.145122
28
0.145117
17
0.145112
19
0.145106
18
0.145101
26
0.145096
18
0.145091
21
0.145085
12
0.14508
31
0.145075
28
0.145069
28
0.145064
31
0.145059
26
0.145054
19
0.145048
16
0.145043
26
0.145038
12
0.145033
19
0.145027
30
0.145022
29
0.145017
32
0.145012
23
0.145006
24
0.145001
33
0.144996
27
0.144991
27
0.144985
37
0.14498
41
0.144975
38
0.14497
46
0.144964
44
0.144959
43
0.144954
55
0.144949
56
0.144943
53
0.144938
60
0.144933
76
0.144928
75
0.144922
64
0.144917
89
0.144912
88
0.144907
79
0.144901
88
0.144896
104
0.144891
124
0.144886
116
0.14488
110
0.144875
119
0.14487
130
0.144865
143
0.144859
147
0.144854
178
0.144849
171
0.144844
197
0.144838
214
0.144833
189
0.144828
245
0.144823
226
0.144817
249
0.144812
274
0.144807
291
0.144802
255
0.144796
331
0.144791
330
0.144786
360
0.144781
340
0.144775
375
0.14477
394
0.144765
412
0.14476
398
0.144754
490
0.144749
469
0.144744
485
0.144739
528
0.144734
539
0.144728
514
0.144723
575
0.144718
584
0.144713
620
0.144707
588
0.144702
638
0.144697
587
0.144692
659
0.144686
605
0.144681
617
0.144676
616
0.144671
609
0.144665
636
0.14466
592
0.144655
578
0.14465
579
0.144645
533
0.144639
528
0.144634
483
0.144629
476
0.144624
457
0.144618
406
0.144613
357
0.144608
318
0.144603
376
0.144597
340
0.144592
295
0.144587
278
0.144582
218
0.144577
237
0.144571
235
0.144566
208
0.144561
172
0.144556
192
0.14455
166
0.144545
153
0.14454
138
0.144535
131
0.14453
123
0.144524
87
0.144519
87
0.144514
84
0.144509
94
0.144503
79
0.144498
67
0.144493
87
0.144488
75
0.144483
62
0.144477
72
0.144472
73
0.144467
60
0.144462
62
0.144456
61
0.144451
59
0.144446
50
0.144441
41
0.144436
41
0.14443
41
0.144425
43
0.14442
40
0.144415
38
0.14441
43
0.144404
39
0.144399
32
0.144394
44
0.144389
33
0.144383
34
0.144378
28
0.144373
25
0.144368
23
0.144363
37
0.144357
37
0.144352
32
0.144347
34
0.144342
27
0.144337
24
0.144331
29
0.144326
29
0.144321
26
0.144316
22
0.144311
32
0.144305
28
0.1443
17
0.144295
28
0.14429
25
0.144285
30
0.144279
25
0.144274
26
0.144269
29
0.144264
20
0.144259
24
0.144253
16
0.144248
17
0.144243
13
0.144238
17
0.144233
16
0.144227
19
0.144222
12
0.144217
24
0.144212
25
0.144207
21
0.144201
19
0.144196
23
0.144191
20
0.144186
20
0.144181
18
0.144175
28
0.14417
11
0.144165
17
0.14416
13
0.144155
22
0.144149
18
0.144144
22
0.144139
20
0.144134
20
0.144129
24
0.144123
16
0.144118
10
0.144113
23
0.144108
18
0.144103
23
0.144097
14
0.144092
16
0.144087
11
0.144082
23
0.144077
19
0.144071
24
0.144066
23
0.144061
17
0.144056
21
0.144051
24
0.144046
13
0.14404
21
0.144035
18
0.14403
21
0.144025
19
0.14402
16
0.144014
14
0.144009
19
0.144004
17
0.143999
23
0.143994
21
0.143988
13
0.143983
24
0.143978
37
0.143973
21
0.143968
16
0.143963
21
0.143957
21
0.143952
11
0.143947
18
0.143942
16
0.143937
23
0.143931
15
0.143926
21
0.143921
21
0.143916
22
0.143911
20
0.143906
12
0.1439
21
0.143895
15
0.14389
21
0.143885
20
0.14388
14
0.143875
17
0.143869
22
0.143864
14
0.143859
18
0.143854
23
0.143849
15
0.143843
15
0.143838
20
0.143833
20
0.143828
22
0.143823
20
0.143818
11
0.143812
21
0.143807
18
0.143802
18
0.143797
17
0.143792
16
0.143787
21
0.143781
21
0.143776
17
0.143771
23
0.143766
22
0.143761
20
0.143756
18
0.14375
15
0.143745
18
0.14374
19
0.143735
18
0.14373
14
0.143725
15
0.143719
23
0.143714
22
0.143709
13
0.143704
29
0.143699
16
0.143694
16
0.143688
22
0.143683
24
0.143678
20
0.143673
25
0.143668
14
0.143663
19
0.143658
13
0.143652
22
0.143647
28
0.143642
22
0.143637
19
0.143632
15
0.143627
21
0.143621
15
0.143616
19
0.143611
22
0.143606
25
0.143601
25
0.143596
23
0.14359
18
0.143585
28
0.14358
20
0.143575
12
0.14357
20
0.143565
20
0.14356
19
0.143554
17
0.143549
15
0.143544
21
0.143539
27
0.143534
21
0.143529
19
0.143524
17
0.143518
23
0.143513
21
0.143508
15
0.143503
22
0.143498
15
0.143493
28
0.143487
17
0.143482
21
0.143477
24
0.143472
23
0.143467
18
0.143462
25
0.143457
11
0.143451
15
0.143446
18
0.143441
19
0.143436
19
0.143431
17
0.143426
19
0.143421
18
0.143415
18
0.14341
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_7
data_7
-1
Binding energy
eV
410
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
794
9228
0.141296
0.144318
1127
0.144318
1158
0.144311
1153
0.144303
1202
0.144295
1081
0.144288
1106
0.14428
1155
0.144272
1062
0.144265
1183
0.144257
1153
0.144249
1104
0.144241
1110
0.144234
1104
0.144226
1111
0.144218
1149
0.144211
1125
0.144203
1106
0.144195
1116
0.144188
1074
0.14418
1129
0.144172
1063
0.144164
1129
0.144157
1050
0.144149
1073
0.144141
1054
0.144134
1081
0.144126
1057
0.144118
1088
0.144111
1037
0.144103
1084
0.144095
1077
0.144088
1046
0.14408
1114
0.144072
1069
0.144065
1018
0.144057
1046
0.144049
1015
0.144041
1068
0.144034
1042
0.144026
1089
0.144018
1061
0.144011
1057
0.144003
982
0.143995
1048
0.143988
944
0.14398
1026
0.143972
1045
0.143965
1021
0.143957
983
0.143949
1013
0.143942
984
0.143934
965
0.143926
1042
0.143919
997
0.143911
991
0.143903
1039
0.143896
973
0.143888
997
0.14388
975
0.143873
927
0.143865
995
0.143857
1032
0.14385
961
0.143842
993
0.143834
1019
0.143827
998
0.143819
954
0.143811
978
0.143804
939
0.143796
979
0.143788
958
0.143781
955
0.143773
930
0.143766
894
0.143758
927
0.14375
979
0.143743
991
0.143735
963
0.143727
931
0.14372
934
0.143712
896
0.143704
953
0.143697
927
0.143689
908
0.143681
932
0.143674
937
0.143666
953
0.143658
941
0.143651
966
0.143643
919
0.143636
976
0.143628
925
0.14362
944
0.143613
913
0.143605
918
0.143597
953
0.14359
927
0.143582
920
0.143574
913
0.143567
909
0.143559
1012
0.143552
977
0.143544
972
0.143536
875
0.143529
953
0.143521
927
0.143513
924
0.143506
932
0.143498
878
0.14349
900
0.143483
921
0.143475
1020
0.143468
933
0.14346
946
0.143452
964
0.143445
967
0.143437
930
0.14343
961
0.143422
937
0.143414
910
0.143407
980
0.143399
919
0.143391
997
0.143384
1007
0.143376
967
0.143369
963
0.143361
939
0.143353
958
0.143346
962
0.143338
960
0.143331
940
0.143323
1009
0.143315
962
0.143308
968
0.1433
997
0.143292
951
0.143285
1011
0.143277
968
0.14327
961
0.143262
1041
0.143254
1074
0.143247
964
0.143239
1049
0.143232
1057
0.143224
989
0.143216
1102
0.143209
1054
0.143201
1118
0.143194
1109
0.143186
1095
0.143178
1085
0.143171
1123
0.143163
1135
0.143156
1161
0.143148
1190
0.143141
1146
0.143133
1177
0.143125
1190
0.143118
1122
0.14311
1161
0.143103
1191
0.143095
1211
0.143087
1234
0.14308
1243
0.143072
1286
0.143065
1247
0.143057
1316
0.143049
1350
0.143042
1378
0.143034
1335
0.143027
1427
0.143019
1501
0.143012
1578
0.143004
1608
0.142996
1693
0.142989
1816
0.142981
1924
0.142974
2070
0.142966
2116
0.142959
2403
0.142951
2524
0.142943
2562
0.142936
2892
0.142928
3122
0.142921
3415
0.142913
3646
0.142906
3994
0.142898
4271
0.14289
4641
0.142883
4889
0.142875
5216
0.142868
5720
0.14286
6030
0.142853
6309
0.142845
6873
0.142838
7102
0.14283
7620
0.142822
7903
0.142815
8083
0.142807
8335
0.1428
8646
0.142792
8966
0.142785
8907
0.142777
9112
0.142769
9161
0.142762
9228
0.142754
9045
0.142747
8919
0.142739
8851
0.142732
8660
0.142724
8503
0.142717
8294
0.142709
7948
0.142702
7636
0.142694
7204
0.142686
6997
0.142679
6477
0.142671
6075
0.142664
5889
0.142656
5556
0.142649
5118
0.142641
4852
0.142634
4489
0.142626
4183
0.142619
3983
0.142611
3571
0.142603
3271
0.142596
3155
0.142588
2954
0.142581
2749
0.142573
2552
0.142566
2528
0.142558
2350
0.142551
2231
0.142543
2098
0.142536
1972
0.142528
1884
0.142521
1842
0.142513
1661
0.142506
1669
0.142498
1613
0.142491
1524
0.142483
1474
0.142475
1434
0.142468
1395
0.14246
1361
0.142453
1332
0.142445
1362
0.142438
1227
0.14243
1224
0.142423
1118
0.142415
1179
0.142408
1177
0.1424
1137
0.142393
1180
0.142385
1074
0.142378
1087
0.14237
1037
0.142363
1114
0.142355
1058
0.142348
1082
0.14234
1107
0.142333
1002
0.142325
1029
0.142318
1010
0.14231
965
0.142303
1061
0.142295
1001
0.142288
1021
0.14228
1012
0.142273
989
0.142265
966
0.142258
980
0.14225
912
0.142243
875
0.142235
976
0.142228
922
0.14222
930
0.142213
942
0.142205
927
0.142198
965
0.14219
914
0.142183
914
0.142175
925
0.142168
868
0.14216
931
0.142153
977
0.142145
906
0.142138
915
0.14213
941
0.142123
973
0.142115
953
0.142108
945
0.1421
862
0.142093
910
0.142085
891
0.142078
899
0.14207
871
0.142063
905
0.142055
895
0.142048
938
0.14204
929
0.142033
852
0.142025
934
0.142018
930
0.14201
908
0.142003
853
0.141995
866
0.141988
933
0.14198
910
0.141973
860
0.141965
842
0.141958
885
0.141951
869
0.141943
890
0.141936
861
0.141928
889
0.141921
838
0.141913
874
0.141906
912
0.141898
850
0.141891
878
0.141883
937
0.141876
885
0.141868
841
0.141861
857
0.141853
906
0.141846
880
0.141839
886
0.141831
867
0.141824
836
0.141816
877
0.141809
926
0.141801
920
0.141794
794
0.141786
816
0.141779
870
0.141771
816
0.141764
850
0.141756
917
0.141749
849
0.141742
826
0.141734
848
0.141727
872
0.141719
813
0.141712
823
0.141704
838
0.141697
867
0.141689
835
0.141682
884
0.141675
903
0.141667
886
0.14166
894
0.141652
872
0.141645
888
0.141637
856
0.14163
865
0.141622
870
0.141615
836
0.141608
877
0.1416
877
0.141593
911
0.141585
836
0.141578
928
0.14157
871
0.141563
900
0.141555
919
0.141548
897
0.141541
885
0.141533
850
0.141526
920
0.141518
813
0.141511
878
0.141503
914
0.141496
900
0.141489
869
0.141481
879
0.141474
841
0.141466
914
0.141459
844
0.141451
890
0.141444
886
0.141437
884
0.141429
908
0.141422
842
0.141414
857
0.141407
875
0.1414
879
0.141392
846
0.141385
842
0.141377
876
0.14137
863
0.141362
906
0.141355
869
0.141348
842
0.14134
918
0.141333
871
0.141325
879
0.141318
862
0.141311
870
0.141303
868
0.141296
90 toa
Si3N4/Si (5min conc H2O2:HCl:H2O 3:2:5) metal blue
2003
5
10
14
53
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.62
1
0
0
1000
2000
55
0
data_8
data_8
-1
Binding energy
eV
410
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
131
1648
0.182382
0.18577
196
0.18577
213
0.185761
235
0.185753
217
0.185744
216
0.185736
231
0.185727
222
0.185718
201
0.18571
173
0.185701
201
0.185692
195
0.185684
200
0.185675
213
0.185667
187
0.185658
185
0.185649
187
0.185641
209
0.185632
190
0.185623
163
0.185615
194
0.185606
222
0.185598
174
0.185589
192
0.18558
189
0.185572
188
0.185563
193
0.185555
185
0.185546
187
0.185537
203
0.185529
207
0.18552
188
0.185512
175
0.185503
168
0.185494
180
0.185486
218
0.185477
199
0.185469
188
0.18546
176
0.185451
172
0.185443
175
0.185434
176
0.185426
172
0.185417
176
0.185408
190
0.1854
177
0.185391
176
0.185383
182
0.185374
196
0.185365
178
0.185357
171
0.185348
175
0.18534
201
0.185331
165
0.185322
194
0.185314
191
0.185305
175
0.185297
168
0.185288
172
0.18528
175
0.185271
168
0.185262
200
0.185254
198
0.185245
165
0.185237
181
0.185228
142
0.185219
174
0.185211
163
0.185202
176
0.185194
175
0.185185
189
0.185177
178
0.185168
174
0.185159
171
0.185151
178
0.185142
157
0.185134
168
0.185125
175
0.185117
168
0.185108
151
0.185099
164
0.185091
158
0.185082
181
0.185074
161
0.185065
175
0.185057
179
0.185048
170
0.18504
161
0.185031
164
0.185022
179
0.185014
170
0.185005
172
0.184997
150
0.184988
162
0.18498
175
0.184971
181
0.184963
165
0.184954
157
0.184945
168
0.184937
194
0.184928
157
0.18492
185
0.184911
160
0.184903
175
0.184894
203
0.184886
179
0.184877
188
0.184869
181
0.18486
156
0.184851
169
0.184843
170
0.184834
169
0.184826
160
0.184817
172
0.184809
170
0.1848
182
0.184792
164
0.184783
173
0.184775
185
0.184766
137
0.184758
153
0.184749
164
0.18474
160
0.184732
188
0.184723
168
0.184715
168
0.184706
173
0.184698
189
0.184689
160
0.184681
196
0.184672
175
0.184664
191
0.184655
177
0.184647
168
0.184638
170
0.18463
174
0.184621
172
0.184613
174
0.184604
193
0.184596
187
0.184587
214
0.184578
214
0.18457
204
0.184561
215
0.184553
200
0.184544
175
0.184536
205
0.184527
196
0.184519
192
0.18451
189
0.184502
181
0.184493
206
0.184485
184
0.184476
202
0.184468
214
0.184459
189
0.184451
209
0.184442
189
0.184434
199
0.184425
218
0.184417
214
0.184408
238
0.1844
217
0.184391
210
0.184383
235
0.184374
237
0.184366
241
0.184357
263
0.184349
278
0.18434
274
0.184332
300
0.184323
286
0.184315
322
0.184306
316
0.184298
342
0.184289
415
0.184281
421
0.184272
481
0.184264
492
0.184255
527
0.184247
548
0.184238
585
0.18423
676
0.184221
697
0.184213
792
0.184204
840
0.184196
875
0.184188
942
0.184179
987
0.184171
1086
0.184162
1153
0.184154
1189
0.184145
1332
0.184137
1382
0.184128
1431
0.18412
1457
0.184111
1521
0.184103
1493
0.184094
1547
0.184086
1581
0.184077
1569
0.184069
1648
0.18406
1626
0.184052
1618
0.184043
1510
0.184035
1499
0.184026
1485
0.184018
1432
0.18401
1385
0.184001
1343
0.183993
1282
0.183984
1275
0.183976
1228
0.183967
1145
0.183959
1078
0.18395
985
0.183942
933
0.183933
878
0.183925
817
0.183917
762
0.183908
757
0.1839
623
0.183891
657
0.183883
586
0.183874
511
0.183866
497
0.183857
478
0.183849
446
0.18384
408
0.183832
420
0.183824
390
0.183815
382
0.183807
316
0.183798
333
0.18379
297
0.183781
317
0.183773
279
0.183764
294
0.183756
263
0.183748
239
0.183739
246
0.183731
227
0.183722
234
0.183714
248
0.183705
270
0.183697
239
0.183688
243
0.18368
208
0.183672
207
0.183663
217
0.183655
192
0.183646
201
0.183638
230
0.183629
220
0.183621
204
0.183613
196
0.183604
195
0.183596
208
0.183587
198
0.183579
198
0.18357
213
0.183562
173
0.183554
194
0.183545
187
0.183537
164
0.183528
188
0.18352
182
0.183511
204
0.183503
169
0.183495
179
0.183486
168
0.183478
183
0.183469
180
0.183461
167
0.183453
188
0.183444
185
0.183436
176
0.183427
164
0.183419
188
0.183411
151
0.183402
168
0.183394
170
0.183385
171
0.183377
169
0.183368
163
0.18336
195
0.183352
147
0.183343
166
0.183335
153
0.183326
175
0.183318
167
0.18331
157
0.183301
146
0.183293
171
0.183284
182
0.183276
173
0.183268
147
0.183259
155
0.183251
147
0.183242
195
0.183234
175
0.183226
162
0.183217
165
0.183209
194
0.183201
158
0.183192
155
0.183184
147
0.183175
163
0.183167
146
0.183159
156
0.18315
164
0.183142
159
0.183133
162
0.183125
159
0.183117
156
0.183108
159
0.1831
161
0.183091
157
0.183083
147
0.183075
155
0.183066
172
0.183058
156
0.18305
159
0.183041
170
0.183033
166
0.183024
175
0.183016
163
0.183008
150
0.182999
154
0.182991
150
0.182983
150
0.182974
168
0.182966
178
0.182958
154
0.182949
151
0.182941
157
0.182932
153
0.182924
151
0.182916
164
0.182907
162
0.182899
162
0.182891
136
0.182882
185
0.182874
153
0.182866
174
0.182857
153
0.182849
148
0.18284
171
0.182832
170
0.182824
153
0.182815
173
0.182807
167
0.182799
153
0.18279
161
0.182782
148
0.182774
153
0.182765
150
0.182757
163
0.182749
165
0.18274
189
0.182732
147
0.182723
169
0.182715
139
0.182707
152
0.182698
148
0.18269
159
0.182682
158
0.182673
176
0.182665
152
0.182657
142
0.182648
145
0.18264
149
0.182632
164
0.182623
161
0.182615
137
0.182607
178
0.182598
162
0.18259
144
0.182582
149
0.182573
148
0.182565
160
0.182557
152
0.182548
157
0.18254
183
0.182532
149
0.182523
153
0.182515
148
0.182507
135
0.182498
153
0.18249
164
0.182482
131
0.182473
147
0.182465
151
0.182457
167
0.182448
162
0.18244
190
0.182432
154
0.182423
157
0.182415
150
0.182407
177
0.182399
143
0.18239
157
0.182382
end of experiment
